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打通28纳米节点

送交者: chentom60[☆★★声望品衔11★★☆] 于 2023-12-26 10:44 已读 1146 次

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中电科电子装备集团有限公司连续突破光路、控制、软件等关键模块的核心技术，形成中束流、大束流、高能及第三代半导体等全系列离子注入机产品格局，实现了28纳米工艺制程全覆盖，切实保障国产芯片生产制造。

我国第一台国产中束流离子注入整机于2008年研制成功，由北京烁科中科信实现突破。北京烁科中科信源于中国电科第48研究所，已拥有中束流离子注入机、低能大束流离子注入机、高能离子注入机和定制离子注入机四种产品。

在半导体晶圆制造中，由于纯净硅的导电性能很差，需要加入少量杂质使其结构和电导率发生改变，从而变成一种有用的半导体，这个过程称为掺杂。通过离子注入机的加速和引导，将要掺杂的离子以离子束形式入射到材料中去。

在德邦的统计数据中，离子注入机行业，浙江露语尓和烁科中科信分别占比4%、2%，万业企业旗下的凯世通也涉足离子注入机，产品应用于光伏太阳能电池，新型平板显示和半导体集成电路领域。

烁科中科信自主研发的离子注入机正在进入国内各大集成电路制造厂商，2020年6月15日，12英寸中束流离子注入机顺利发往北京某集成电路大产线。其中束流离子注入机CI P900系列也通过中芯国际验证，在28nm以上工艺领域的进口替代能力和自主可控，具备年产30台离子注入机的能力。

2023年，烁科中科信设备研发中心攻克了困扰已久的高能离子注入机，项目团队不眠不休地与影响均一性的5项关键指标“死磕”，修改5000多次程序。目前，高能离子注入机已进入产线工艺验证的最后阶段。

2023年一季度，北京总公司和长沙分公司实现12台离子注入机先后顺利交付，同比增长300%，仅3月份就交付5台设备。一季度新签合同再创新高，合同总额突破3.5亿元，同比增长21%。2023年信4月，烁科中科信碳化硅离子注入机顺利交付。

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