哈尔滨工业大学开发大型立式超精密车床技术
由于国外制裁，给国产芯片厂释放了巨大的市场，尤其华为的供应链，塞进去了一堆国产企业，这是国产芯片崛起最大的助力。EUV方面，双工台、极紫外光源都已经有现成的了。用于制造极紫外光刻机（LPP-EUV）光源收集器的加工母机：大型立式超精密车床。技术来源自哈尔滨工业大学的技转授权。
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