2024-05-27 13:59 来源: 水晶球财经网      发布于：四川省
当前背景下，先进节点技术开发速度略有放缓，国内半导体产业发展，国产化需求为中国企业带来发展机遇。

中国公司除少数公司覆盖g/i光刻胶外，在更高的光刻胶领域基本都处于客户验证甚至只是研发阶段，任重而道远。

当前国内光刻胶企业多分布在技术难度较低的PCB光刻胶领域，占比超9成，而技术难度最大的半导体光刻胶市场，国内仅有彤程新材（北京科华）、华懋科技（徐州博康）、南大光电、晶瑞电材和上海新阳等少数几家。

光刻胶产业链上下游布局相关公司众多，代表厂商还包括雅克科技、永太科技、江化微、芯源微、七彩化学、万润股份、华特气体、新莱应材、盛剑环境、鼎龙股份、怡达股份、广信材料、八亿时空、晶瑞电材、炬光科技、飞凯材料、晶方科技、百川股份等。

雅克科技：是市值最大的光刻胶上市公司，先后合并了华飞电子、江苏先科、成都科美特并半导体材料资源公司，子公司还收购了LG化学旗下的彩色光刻胶资产，获得彩色光刻胶的关键技术，填补了国内技术空白。

南大光电：公司在光刻胶技术研发方面始终坚持从原材料到产品的完全自主化。控股子公司宁波南大光电的光刻胶研发中心具备了研制功能单体、功能树脂、光敏剂等光刻胶材料的能力，能够实现从光刻胶原材料到光刻胶产品及配套材料的全部自主化。目前研发的三款 ArF光刻胶产品已在下游客户通过认证并实现销售，多款产品正在主要客户处认证。

格林达：成功研发出国内首套光刻胶显影液生产线，打破了国外技术垄断。TMAH显影液是目前最普遍且性能最优的显影液，取代无机碱（KOH/NAOH）广泛应用于IC、显示面板、光电等行业。

晶瑞电材：是国内较早进入微电子化学品生产领域的企业之一，其光刻胶业务的历史可以追溯到1976年的苏州中学办光刻胶研发室，是国内最早研发光刻胶的团队之一。公司的产品线涵盖了各种类型的光刻胶，包括紫外线(UV)光刻胶、电子束光刻胶、深紫外光刻胶等。

彤程新材：2024年部分ArF/ArFi光刻胶产品通过国内芯片厂验证，取得了规模量产订单，已开始批量供货。

国内先进光刻机相关企业

【1】张江高科（600895）：2023年9月1日互动易：公司通过子公司上海张江浩成创业投资有限公司投资了

【2】蓝英装备（300293）：2021年12月10日投资者关系记录表：公司精密清洗设备面向的高端芯片制造行业企业客户包括光刻机制造企业的合资(参股)公司，该客户负责制造光刻机的核心光学系统。

【3】国林科技（300786）光刻机和光刻胶概念都有：2023年9月14日互动易回复：子公司国林半导体臭氧设备产品从2022年下半年开始进行市场导入，2023年以来陆续在半导体、面板、科研等行业领域出货验证，该产品用于化学气相沉积（CVD）、原子层薄膜沉积（ALD）、晶圆清洗、污染物及光刻胶去除等工艺中。

【4】茂莱光学（688502）光刻机和光刻胶概念都有2023年5月23日互动易回复：公司为光刻机光学系统提供用于匀光、中继照明模块的光学器件、投影物镜，以及用于工件台位移测量系统的棱镜组件，是光刻机实现光线均匀性与曝光成像的关键模块。
【5】炬光科技（688167）光刻机和光刻胶概念都有： 2023年3月20日互动易回复：公司多年来一直为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件——光场匀化器（招股书中“光场匀化器——光刻应用”），供应给世界顶级光学企业A公司，最终应用于全球高端光刻机生产商的核心设备。同时，公司与国内在这一领域的研发单位有广泛合作，公司的光场匀化器产品应用于国内主要光刻机研发项目和样机中。

【6】 苏大维格（300331）：主营业务涵盖光刻机设备的研发、生产和销售，以及提供相关的技术服务。其核心优势在于深厚的技术积累、丰富的行业经验以及良好的市场口碑。

【7】奥普光电（002338）： 公司大股东长春光机所正在致力于研发更高水平的光刻机曝光系统； 据2023年3月15日互动易回复：子公司禹衡光学的高端光栅编码器填补了国内空白并达到国际同类产品先进水平，解决了国家在高端位移传感器领域的卡脖子问题，为国产替代、自主可控做出应有贡献。

【8】安泰科技（000969）：产品的钨合金用于某型号光刻机设备，是该型号光刻机的关键核心部件。

【9】华亚智能（003043）： 2023年9月11日互动易回复：公司是ASML的间接供应商，向直接客户少量供应应用于光刻机设备的精密金属结构件产品。

【10】同飞股份（300990）： 2023年半年报：公司液体恒温设备在半导体制造设备领域主要应用于光刻机、刻蚀机、PVD/CVD、研磨抛光机等关键设备的温度控制。

【11】旭光电子（600353）： 2023年11月7日互动易回复：公司用于光刻机、等离子清洗/抛光等半导体设备领域的发射管产品已经客户验证通过，并实现批量销售。

【12】凯美特气（002549）光刻机和光刻胶概念都有： 据2023年3月5日互动易回复：公司电子特气项目生产芯片所需的超高纯气体和光刻气产品具有较高的品质，已通过多个国际头部企业的相关认证或审核，并与多家头部企业建立合作，客户认可度高。

【13】新莱应材（300260） 光刻机和光刻胶概念都有 2021年6月22日互动易：光刻机的相关工艺需要在超高真空以及特殊气体的条件下完成，公司真空产品的AdvanTorr品牌以及气体产品的NanoPure品牌均可以应用到光刻机的设备中，公司的客户中已经包含光刻机设备的制造商。

【14】京华激光（603607） 2023年4月17日互动易回复：公司控股的美国菲涅尔制版科技公司是一家多年从事微结构光学技术研发及相关设备制造和维护的企业，在微结构光学方面具有较强的研发实力，尤其在全息光学、菲涅尔猫眼、水晶微结构、浅纹微结构、铂金浮雕等方面研发成果突出，先后研发出多台技术先进、性能突出、与光学制版有关的光刻机设备，并在全球范围内独家供应公司使用。

【15】海立股份（600619） 根据公司官网：海立集团与微电子装备集团双方就项目合作、产品配套等内容进行深入探讨。双方以封装光刻机得冷却系统配套为起点，进一步提升合作能级，逐步从零部件级供应合作提升为系统级供应合作。

【16】波长光电（301421）光刻机和光刻胶概念都有： 2023年8月25日互动易回复：在半导体应用领域，公司已具备提供光刻机配套的大孔径光学镜头的能力。公司成功开发的光刻机平行光源系统可用于国产光刻机领域配套，并已交付多套系统用于接近式掩膜芯片光刻工序。 2023年8月25日互动易回复：在半导体应用领域，公司已具备提供光刻机配套的大孔径光学镜头的能力。公司成功开发的光刻机平行光源系统可用于国产光刻机领域配套，并已交付多套系统用于接近式掩膜芯片光刻工序。

【17】晶方科技（603005）光刻机和光刻胶概念都有2022年7月17日互动易：公司下属荷兰ANTERYON公司服务国际领先光刻机厂商，部分产品运用于光刻机部件。 荷兰光刻机制造商ASML为公司参与并购的荷兰Anteryon公司的最主要客户之一。Anteryon为全球同时拥有混合镜头、晶圆级微型光学器件工艺技术设计、特性材料及量产能力的技术创新公司，其产品可广泛应用于半导体精密设备、工业自动化、汽车、安防、3D传感器为代表的消费类电子等应用领域。

【18】腾景科技（688185）光刻机和光刻胶概念都有 2023年半年报：公司合分束器项目应用于光刻机光学系统，可满足国产替代进口的需求。

【19】久日新材（688199）光刻机和光刻胶概念都有2021年9月6日投资者互动记录：子公司大晶信息的有光刻机溶剂，拥有600吨光敏剂产能。2020年6月2日公司在互动平台称：公司正处于研发的项目中有阳离子及光敏剂项目，本项目预计总投资规模9,500,000.00元，截至2019年12月31日，已累计投入金额4,568,996.17元，其中阳离子光引发剂已经完成了小试和中试，光刻胶光敏剂小试开发中；

【20】芯碁微装（688630）光刻机和光刻胶概念都有2023年9月5日互动易：在制版光刻机领域，目前主流制程在100-400nm工艺区间,公司将尽快推出量产90nm节点制版需求的光刻设备以满足半导体掩膜版技术的更新迭代；公司专业从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售以及相应的维保服务,主要产品及服务包括PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统、其他激光直接成像设备以及上述产品的售后维保服务。

国内先进光刻胶材料企业

【1】国林科技（300786）光刻机和光刻胶概念都有： 2021年8月27日调研活动信息：在光刻胶清洗过程当中需要用到公司的装置。

【2】新莱应材（300260）光刻机和光刻胶概念都有：光刻机的相关工艺需要在超高真空以及特殊气体的条件下完成，公司真空产品的AdvanTorr品牌以及气体产品的NanoPure品牌均可以应用到光刻机的设备中，公司的客户中已经包含光刻机设备的制造商。

【3】扬帆新材（300637） 2020年4月10日互动平台显示：公司内蒙古基地募投项目主要的光引发剂品种包括TPO、184、1173、BDK等。公司部分光引发剂产品下游可应用于光刻胶等相关领域。

【4】晶瑞电材（300655）公司是一家专业从事微电子化学品的产品研发、生产和销售的高新技术企业，主导产品包括超净高纯试剂、光刻胶、功能性材料、锂电池材料和基础化工材料等；

【5】容大光感（300576）作为国内领先的感光电子化学材料供应商，主营业务包括光刻胶及配套化学品的研发、生产和销售。其产品主要包括紫外线正胶、紫外线负胶及相关配套化学品，广泛应用于平板显示、发光二极管及集成电路等领域。其核心优势在于强大的研发实力、完善的产品体系以及良好的客户合作关系。

【6】艾森股份（688720）根据公司招股说明书：公司以光刻胶配套试剂为切入点，成功实现附着力促进剂、显影液、去除剂、蚀刻液等产品在下游封装厂商的规模化供应。同时，发行人积极开展光刻胶的研发，目前，公司自研先进封装用 g/i 线负性光刻胶已通过长电科技、华天科技认证并实现批量供应。

【7】上海新阳（300236）公司为拓展业务范围及产品应用领域，投资设立控股子公司上海芯刻微材料技术有限责任公司进行193nm（ArF）干法光刻胶研发及产业化项目。

【8】 飞凯材料（300398）：主营业务包括光刻胶产品的研发、生产和销售。其产品广泛应用于LED、TFT-LCD、PCB制造以及屏幕显示制造等领域，并已逐步拓展至半导体制造和OLED材料领域。其核心优势在于丰富的产品线和广泛的应用领域，以及持续的技术创新和市场拓展能力。

【9】大族激光（002008）光刻机和光刻胶概念都有：作为国内激光设备行业的领军企业，主营业务包括激光打标、激光切割、激光焊接等设备的研发、生产和销售。在光刻机领域，大族激光也具备一定的技术实力和市场地位。其核心优势在于领先的激光技术、丰富的产品线以及广泛的应用领域。

【10】 华懋科技（603306）主营业务包括电子化学品的研发、生产和销售，其产品包括光刻胶及配套试剂等。华懋科技在光刻机领域拥有一定的市场份额和竞争力。其核心优势在于专业的研发团队、高效的生产能力以及优质的客户服务。

【11】华特气体（688268）光刻机和光刻胶概念都有：主营业务为特种气体的研发、生产和销售，其产品广泛应用于半导体、显示面板等领域。在光刻机领域，华特气体提供的气体产品也发挥着重要作用。其核心优势在于高品质的产品、稳定的供应能力以及良好的客户关系。2020年2月27日互动易：公司用于集成电路等离子蚀刻的高纯六氟乙烷是国内首家，用于光刻机的光刻气系列产品都是国内首家，市占率都大于50%。公司的光刻气产品包括A/F/Ne、G/e、 Ar/Ne和K/任F/Ne混合气等，4种光刻气均为国内唯一供应商﹐通过全球最大的光刻机公司ASML产品认证。

【12】安达智能（688125）主营业务涵盖智能制造装备的研发、生产和销售，其产品可应用于光刻机等领域。安达智能在智能制造领域拥有一定的技术积累和市场份额。其核心优势在于先进的制造技术、灵活的生产线以及定制化的服务能力。2022年半年报：公司Asher/除胶（单腔体）项目实现自动取料送料，半导体前后段各种光刻胶自动去除，目前项目已进入客户验证阶段。

【13】雅克科技（002409）：子公司斯洋国际有限公司通过收购LG CHEM的彩色光刻胶业务部分资产，进一步扩大了公司的业务范围。

【14】同益股份（300538）：公司专注于不同领域的光刻胶研发、生产和销售，服务领域包括平板显示、发光二极管、集成电路等。公司涉及的光刻胶业务，主要是从韩国引进丙烯酸树脂、KISCO 光引发剂、DKC 光敏剂以及色浆等产品，主要应用于 LCD-TFT 正性光刻胶等中高端市场。

【15】赛微电子（300456）光刻机和光刻胶概念都有：2020年5月30日互动平台回复：公司一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务。2023年9月14日互动易：公司一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务，该类业务一直为公司工艺门槛极高的优势业务；

【16】广信材料（300537） 据2023年3月4日互动易回复：PCB光刻胶作为公司主营产品，2021年度销售收入约3.55亿元，收入占比约57.34%，2022年上半年销售收入约1.57亿元，收入占比约54.17%；公司微电子材料事业部所研发的TP、TN/STN-LCD光刻胶等部分FPD光刻胶产品按照订单情况正常生产和销售中，目前收入占比较小，正进一步推进市场开拓等工作。

【17】芯源微（688037）产品包括光刻工序涂胶显影设备(涂胶/显影机、喷胶机)和单片式湿法设备(清洗机、去胶机、湿法刻蚀机)。

【18】强力新材（300429）公司不生产光刻胶，公司主要从事电子材料领域各类光刻胶专用电子化学品（分为光引发剂、树脂）的研发、生产和销售及相关贸易业务。

【19】江化微（603078）公司主营业务为超净高纯试剂、光刻胶配套试剂等湿电子化学品的研发、生产和销售。

【20】岱勒新材（300700） 公司2023年11月6日调研公告：公司控股子公司岱华科技已研发出清洗剂、剥膜液、显影液和蚀刻液等光刻胶配套试剂产品，除蚀刻液、显影液处于研发中外，其他产品都已经提供客户试用验证中，同时公司也在积极推进相关产品的市场应用。

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