哈工大的光源是DPP的,根本用不上。
回答: 一个DUV山寨了十年才造出一个干式的。 由 龙珠雷达 于 2025-02-22 16:19
DPP光源几十瓦就到极限了,ASML尝试这个方向不成功才改走LPP路线的。现在ASML用的是Trumpf的LPP光源,中国还造不出来。不要好高骛远,要一步一个脚印的山寨。十年能造出个原型机就不错了。
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