中微半导体
中微半导体主营产品等离子体刻蚀设备是除光刻机以外最关键的微观加工设备，2023 年公司 CCP 和 ICP 刻蚀设备在国内主要客户芯片生产线上占有率大幅提升，中微开发的可调节电极间距的 CCP 刻蚀机 Primo SD-RIE 已进入国内领先的逻辑芯片制造客户开展现场验证。
并且在2023 年公司新开发出 4 款薄膜沉积产品，首台 CVD 钨设备付运到关键存储客户端验证评估，已通过客户现场验证。
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