凯世通再获设备订单
万业企业在2018年成功收购中国唯二的集成电路离子注入机研发制造企业—凯世通半导体。凯世通覆盖集成电路、光伏及AMOLED离子注入机三大类设备的制造企业,拥有低能大束流、高能离子注入、超低温离子注入设备等核心关键机型。凯世通在先进逻辑芯片28nm制程工艺覆盖率达到100%。凯世通研发的28nm工艺节点的低能大束流、低能大束流重金属离子注入机、低能大束流超低温离子注入机和高能离子注入机均顺利实现商业化。2023年5月8日,凯世通新研发制造基地启用仪式在上海浦东金桥举行。
2024年,凯世通向12吋集成电路新客户交付了首台面向CIS的大束流离子注入机。
2024年一季度,凯世通单季度搬入客户端8台离子注入机。
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