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中微公司半导体设备公司

送交者: chentom60[☆★★声望品衔11★★☆] 于 2024-06-16 12:30 已读 1051 次 1赞

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2023年，中微公司刻蚀设备新增订单达69.5亿元，同比增长60%。CCP和ICP刻蚀机可覆盖国内95%以上的刻蚀应用需求。在国际上已有近600台中微的双反应台刻蚀设备，其中一半用于5纳米及更先进制程。

中微公司收购昂坤视觉的股权，布局晶圆光学检测技术；
公司布局的薄膜沉积设备LPCVD是除光刻机和刻蚀机外第三大设备市场；
公司现在正紧锣密鼓开发在硅和锗硅方面在集成电路需要的EPI（单晶外延）设备；
另一个布局是导体类的（低压热化学的反应器）；
公司也进入了导体类ALD的领域，相关设备正在开发中；
中微参股PECVD领先企业拓荆科技；
投资半导体检测设备制造公司睿励仪器。

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