长春光机所对EUV光刻机的贡献
长春光机所潘其坤等团队提出了一种激光功率稳定方法及激光功率放大系统，有效提升了CO2激光放大功率后输出的窄脉宽激光功率及各脉冲能量的稳定性。之后，该团队又提出了一种双波长激光共轴输出系统，解决了现阶段可调谐CO2激光器无法同时输出双波长的难题，同时提升了EUV光刻光源中双波长 CO2激光在MOPA系统中的功率提取效率和双波长 CO2 激光光束质量、偏振度、传输方向的一致性。
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