至少有5台国产DUV上线
外网热炒国产光刻机，这回漏出一角。最近有光刻机上首套名单，懂行都知道，评审一套行政审批，那至少是两年前的实物了。光刻机生产的芯片，自带编码编号的，显微镜一眼就能识别，现在的高端工业设备都是有定位系统的，厂家来人给你安装，你稍微动一下这个机器，它就自动停止运行了。ASML的光刻机都是留有后门，能够追查到生产源头，美国追查不到麒麟芯片的源头就已经说明问题了。光刻机核心部件双工件台需要做到精准定位，用来精确控制光线与晶圆的相对位置。这是一套相当复杂的三维定位系统，不是简单的标记一下。不同的光刻机有相应定位标记系统，ASML有三套独有的定位系统，某种意义上来说，这算是光刻机的身份证。现在已证明麒麟芯片没有国外光刻机的定位标记，这也是有人反推国产DUV已经投入量产的原因。鉴于麒麟芯片的出货量，反推至少有5台国产DUV上线。
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